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低功耗、集成控制器的CMOS微型位移传感器 线性量程     20/50/100/200 mm 误差     ≤±0.2 %（典型值） 分辨率        0.02 % （静态） 测量频率     750 Hz （数字） 输出信号     4-20 mA / RS422/1-5 V（选项）