当仪器设备按照数据流量提取气体试品，气体按照带条状过滤纸系统，使烟尘集中化到该过滤纸上，收集前和收集后的过滤纸经β放射线直射并测量穿过滤纸的β放射线抗压强度，便能简接测到附在过滤纸上的烟尘品性。β放射线辐射通常采用放射性同位素。β放射线辐射强度用盖革管或电离箱开展测量。这类仪器设备可用以自然环境或者进行当场测量气体中含尘量。
（β射线）贝塔射线，它是一种带电荷高速运行的粒子，由于贝塔射线穿透力不强，当其穿透物质时，会有一部分射线被物质所吸收，强度继而发生衰减，而这种衰减量与所穿透物质的质量成比例关系，所以贝塔射线被应用大气颗粒物的浓度测定上。贝塔射线扬尘监测就是根据这一原理，分别测定β射线穿透空白滤纸带及含有大气颗粒物滤纸带的前后强度变化，计算出大气中的颗粒物浓度。
贝塔射线扬尘在线监测设备，可以连续自动监测大气中的颗粒物浓度，相较于光散射法颗粒物监测设备，有着更高的精准度，目前不少城市都要要求淘汰光散射扬尘监测设备，使用β射线法颗粒物监测设备。